Mô tả sản phẩm

Tương thích sử dụng trong phòng sạch với khả năng phát ion cao và trung hòa điện tích tĩnh nhanh chóng

Model 5225 Digital AeroBar kết hợp với điều khiển bằng phần mềm của Simco-Ion được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu khắt khe về ion hóa trong công cụ. Khả năng phát ion mạnh và cung cấp khả năng trung hòa nhanh chóng điện tích trên wafer giúp việc tuân thủ E78 ở các mức độ nghiêm ngặt nhất có thể đạt được.

 

Interface Module Model 5200-IM6T

Cấp nguồn và hỗ trợ lên đến 6 thanh AeroBar Model 5225, có đầu ra FMS.

Tính năng và lợi ích

  • Cho phép tích hợp hoàn chỉnh với hệ thống điều khiển của máy móc công cụ

  • Các tham số hoàn toàn có thể điều chỉnh cho từng thanh AeroBar

  • Giám sát dòng ion

  • Nhiều lựa chọn về kích thước thanh bar, bao gồm 3 kích thước được thiết kế đặc biệt cho EFEMs

  • Đầu phát ion làm từ silicon đơn tinh thể

Model 5225 Digital AeroBar kết hợp điều khiển bằng phần mềm

Thông số kỹ thuật

Voltage Input: 24 VAC, 50/60 Hz, 1W (typ); powered by Interface Module Model 5200-IM6T Output: 0-20 kVDC, ±10% for each polarity on an individual AeroBar; positive or negative output levels can be adjusted separately through GUI
Ion Emission Pulsed DC, Steady-state DC, or Standby
Emitter Single-crystal Silicon, replaceable
Cleanroom Class ISO 14644-1 Class 1 (Single-crystal Silicon emitter) ISO 14644-1 Class 3 (Titanium emitter)
Dimension 2.1”H x 1.2”W x 22.4 / 28.4 / 35.7 / 44.4 / 55.6 / 64.4 / 75.5 / 84.4”L (5.3 x 3.1 x 56.9 / 72.1 / 90.7 / 112.8 / 141.2, 163.6 / 191.8 / 214.4 cm)
Weight 1.13 lb (0.51 kg) for a 22” (55.9 cm) bar (approx. 6 oz per additional ft/0.17 kg per additional 30.5 cm)
Input Voltage 24 VDC, 1.0A, ±5%
Capacity Connect to up to six Model 5225 AeroBars
LED Indicator Green POWER ON, yellow COMMUNICATION, red ALARM
Dimension 2.76”H x 2.88”W x 12.4”L (7.01 x 7.32 x 31.5 cm) with flange
Weight 2.6 lb (1.18 kg)

Tải xuống tài liệu

Để lại thông tin kết nối với CNS Technologies

Kết nối với chúng tôi