CNS Technologies - Chuyên môn xuất nhập khẩu với Công nghệ
Mô tả sản phẩm
Tương thích sử dụng trong phòng sạch với khả năng phát ion cao và trung hòa điện tích tĩnh nhanh chóng
Model 5225 Digital AeroBar kết hợp với điều khiển bằng phần mềm của Simco-Ion được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu khắt khe về ion hóa trong công cụ. Khả năng phát ion mạnh và cung cấp khả năng trung hòa nhanh chóng điện tích trên wafer giúp việc tuân thủ E78 ở các mức độ nghiêm ngặt nhất có thể đạt được.
Interface Module Model 5200-IM6T
Cấp nguồn và hỗ trợ lên đến 6 thanh AeroBar Model 5225, có đầu ra FMS.
 
 
 
 
 
 
 
 ![]()
 
 
  
Tính năng và lợi ích
- 
	
Cho phép tích hợp hoàn chỉnh với hệ thống điều khiển của máy móc công cụ
 - 
	
Các tham số hoàn toàn có thể điều chỉnh cho từng thanh AeroBar
 - 
	
Giám sát dòng ion
 - 
	
Nhiều lựa chọn về kích thước thanh bar, bao gồm 3 kích thước được thiết kế đặc biệt cho EFEMs
 - 
	
Đầu phát ion làm từ silicon đơn tinh thể
 
Thanh khử tĩnh điện AeroBar® 5225 In-tool Ionizing System
Thông số kỹ thuật
                                                
                                                    Voltage	                                                
                                                
                                                    Input: 24 VAC, 50/60 Hz, 1W (typ); powered by Interface Module Model 5200-IM6T Output: 0-20 kVDC, ±10% for each polarity on an individual AeroBar; positive or negative output levels can be adjusted separately through GUI                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Ion Emission	                                                
                                                
                                                    Pulsed DC, Steady-state DC, or Standby                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Emitter	                                                
                                                
                                                    Single-crystal Silicon, replaceable                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Cleanroom Class	                                                
                                                
                                                    ISO 14644-1 Class 1 (Single-crystal Silicon emitter) ISO 14644-1 Class 3 (Titanium emitter)                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Dimension	                                                
                                                
                                                    2.1”H x 1.2”W x 22.4 / 28.4 / 35.7 / 44.4 / 55.6 / 64.4 / 75.5 / 84.4”L (5.3 x 3.1 x 56.9 / 72.1 / 90.7 / 112.8 / 141.2, 163.6 / 191.8 / 214.4 cm)                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Weight	                                                
                                                
                                                    	1.13 lb (0.51 kg) for a 22” (55.9 cm) bar (approx. 6 oz per additional ft/0.17 kg per additional 30.5 cm)                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Interface Module Model 5200-IM6T                                                
                                                
                                                                                                     
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Input Voltage	                                                
                                                
                                                    24 VDC, 1.0A, ±5%                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Capacity	                                                
                                                
                                                    Connect to up to six Model 5225 AeroBars                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    LED Indicator	                                                
                                                
                                                    Green POWER ON, yellow COMMUNICATION, red ALARM                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Dimension	                                                
                                                
                                                    2.76”H x 2.88”W x 12.4”L (7.01 x 7.32 x 31.5 cm) with flange                                                
                                            
                                                                                        
                                                
                                                    Weight	                                                
                                                
                                                    2.6 lb (1.18 kg)                                                
                                            
                                                                        
            
            



        
                            
                            
                                
                                
                                
                                
 Loading ...