Công nghệ Xung Điều Biến Modulated Pulse với Khả Năng Điều Chỉnh Rộng & Ion Hóa theo Tiêu Chuẩn ISO 14644-12

Thanh khử tĩnh điện AeroBar 5635 Modulated Pulse của Simco-Ion được thiết kế đặc biệt để loại bỏ tĩnh điện trong quá trình sản xuất chất bán dẫn và các quy trình sản xuất siêu sạch khác, nơi yêu cầu thời gian khử tĩnh điện nhanh, điện áp dao động thấp và cân bằng phải chuẩn xác. Model 5635 sử dụng công nghệ MP, kết hợp sóng sin tần số cao với các xung điều chế modulated pulses (MP) để tạo ra và cung cấp lượng ion cao. Công nghệ đột phá này cho phép gắn AeroBar trong phạm vi 150 mm từ wafer. Công nghệ MP, kết hợp với các điểm phát ion silicon siêu sạch và điều chỉnh chính xác, đáp ứng tiêu chuẩn ion hóa ISO 14644-12 (các hạt 0,01 µm hoặc nano) và tiêu chuẩn sạch ISO 14644 Class 1 (các hạt 0,1 µm), điều này rất quan trọng cho các công nghệ Nodes nhỏ hơn.

ỨNG DỤNG MỤC TIÊU

Thanh khử tĩnh điện AeroBar 5635 được thiết kế đặc biệt cho việc xử lý wafer bán dẫn và đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch và hiệu suất ở các thiết kế hình học nhỏ hơn. Nó cung cấp khả năng ion hóa theo tiêu chuẩn ISO 14644-12 (hạt 0,01 µm hoặc hạt nano) và độ sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644 Lớp 1 (hạt 0,1 µm).

• Mở rộng tới ISO Class 1 (10 nm)

• Công nghệ xung điều biến Modulated pulse

• Tính đồng nhất

• Điện áp trường thấp

• Cho phép sử dụng khí hỗ trợ

• Phần mềm tùy chọn với giao diện dễ sử dụng và khả năng điều chỉnh rộng

• Có báo động tín hiệu đầu ra