Giám sát các tham số tĩnh điện quan trọng trong các trạm và môi trường làm việc

Hệ thống Giám sát Quy trình Novx Series 7000 Process Monitoring System là một công cụ dựa trên vi xử lý đa nhiệm để giám sát các thông số quan trọng liên quan đến tĩnh điện trong trạm và môi trường làm việc. Sáu kênh được dành riêng biệt giúp tùy chỉnh công cụ cho việc giám sát phát hiện điện áp trường/cân bằng Ionizer, phát hiện sự kiện ESD, điện áp cơ thể hoặc giám sát đất, và đếm hạt.

CÁC LĨNH VỰC SẢN XUẤT ĐƯỢC ỨNG DỤNG

• Sản xuất điện tử
• Khoa học đời sống
• Xử lý bán dẫn Back-end
• Xử lý bán dẫn Front-end
• Sản xuất màn hình phẳng

ỨNG DỤNG MỤC TIÊU

Hệ thống Novx 7000 cho phép giám sát các biến tĩnh điện quan trọng trong cả môi trường sản xuất bán dẫn front-end và back-end. Khả năng cảm biến đa chức năng và khả năng giao tiếp công nghiệp cho phép tích hợp giám sát thời gian thực với kiểm soát tĩnh điện quy trình. Là một công cụ tổng quát cho giám sát tĩnh điện của sự kiện ESD, trường tĩnh điện, mật độ hạt, nối đất của nhân viên và trạm làm việc, cũng như khả năng kiểm soát cân bằng ionizer và các tham số xả, nó còn tăng cường khả năng giám sát trong các ứng dụng sản xuất màn hình phẳng, ổ đĩa cứng và y tế.

• Xử lý tín hiệu thông minh
• Nhiều kiểu cảm biến và anten
• Có thể kết nối nối tiếp; đầu ra RS-485 hoặc Ethernet
• Theo dõi và phát hiện sự kiện ESD
• Ba tùy chọn cho giám sát điện áp trường
• Cho phép người dùng cài đặt cảnh báo với tin nhắn tự động
• Kiểm soát vòng kín
• Các mô-đun cắm cho phép nhà máy có thể nâng cấp