Kiểm soát tĩnh điện trong không gian hẹp bên trong công cụ

Simco-Ion’s QuadBar 4630 Ionizer là thiết bị ion hóa corona đầu tiên cung cấp khả năng kiểm soát tĩnh điện an toàn, hiệu quả trong không khí môi trường bên trong buồng xử lý. Cấu hình quadropole độc đáo của nó đảm bảo quá trình ion hóa hiệu quả ở khoảng cách chỉ gần 3 inch (7,6 cm) từ sản phẩm. Kích thước nhỏ gọn của 4630 được thiết kế để dễ dàng lắp đặt vào các không gian chật hẹp của bất kỳ thiết bị xử lý nào, và khả năng hoạt động với nguồn đầu vào 24 VDC cho phép nó kết nối với nguồn điện của công cụ. 

Bộ điều khiển Model 4030

Bộ điều khiển Simco-Ion Model 4030 QuadBar là giải pháp tiện lợi để cấp nguồn và giám sát lên đến 16 QuadBar và 2 thanh khử AeroBar Model 5685 nếu lựa chọn sử dụng thanh khử AeroBar.

CÁC LĨNH VỰC SẢN XUẤT ĐƯỢC ỨNG DỤNG

• Xử lý bán dẫn Back-End
• Xử lý bán dẫn Front-End

ỨNG DỤNG MỤC TIÊU

 Các thiết bị ion hóa QuadBar Model 4630 được đặt phía trên và dưới robot xử lý giúp tăng tốc độ khử tĩnh điện trên cả bề mặt trước và sau của tấm wafer mà không chịu ảnh hưởng của dòng không khí Airflow.

• Cấu hình Quadropole với Công nghệ IsoStat® 

• Kích thước nhỏ gọn

• Hoạt động với nguồn 24 VAC hoặc 24 VDC

• Có thêm lựa chọn kim phát Single-crystal Silicon

• Báo động đầu ra kết nối với hệ thống FMS hoặc bộ điều khiển công cụ xử lý