CNS Technologies - Chuyên môn xuất nhập khẩu với Công nghệ
Mô tả sản phẩm
Bộ ion hóa kiểm soát tĩnh điện với thiết kế hộp khí hỗ trợ
Model QuadBar™ 4635 - Bộ khử tĩnh điện có khí hỗ trợ của Simco-Ion cung cấp kiểm soát tĩnh điện hiệu quả trong một thiết kế nhỏ gọn. Model 4635 cung cấp hai lựa chọn thiết kế hộp (cartridge) khí hỗ trợ. Mỗi lựa chọn sử dụng một hộp khí (air cartridge) đa kênh được đặt xung quanh các kim phát để tối ưu phân phối không khí với điện áp trường tối thiểu.
Bộ điều khiển Model 4030
Bộ điều khiển QuadBar Model 4030 của Simco-Ion là một giải pháp tiện lợi để cấp nguồn và giám sát lên đến 16 chiếc QuadBars và 2 thanh AeroBar Model 5685.
CÁC LĨNH VỰC SẢN XUẤT ĐƯỢC ỨNG DỤNG
- Xử lý bán dẫn Back-End
- Xử lý bán dẫn Front-End
ỨNG DỤNG MỤC TIÊU
Bộ kiểm soát tĩnh điện QuadBar Model 4635 được đặt ở phía trên và dưới của robot xử lý giúp tăng tốc độ khử tĩnh điện trên bề mặt wafer phía trước và phía sau mà không cần tới sự hỗ trợ của khí.
Tính năng và lợi ích
- Thiết kế hộp khí hỗ trợ
- Hai lựa chọn thiết kế cartridge cung cấp các khoảng thời gian làm sạch kéo dài (tiêu chuẩn với luồng không khí bọc) hoặc thời gian xả nhanh hơn (jet với ống tiết trung tâm)
- Thiết kế cartridge có thể xoay
- Cấu hình Quadropole với công nghệ IsoStat
- Kích thước nhỏ gọn
- Kim phát tinh thể Silicone
- Có cảnh báo đầu ra đến FMS hoặc bộ điều khiển công cụ quy trình
QuadBar™ 4635 | Bộ khử tĩnh điện có khí hỗ trợ
Thông số kỹ thuật
Input Voltage
24 VAC ±5% @ 0.10A, 50/60 Hz, 2.4W; 24 VDC ±5% @ 0.025A, 0.6W (typ)
Discharge
Standard Cartridge: <15 sec @ 12” (30.5 cm) directly under emitter points with 15 lpm (min) purging gas airflow
Jet Cartridge: <6 sec @ 12” (30.5 cm) directly under emitter points with 15 lpm (min) purging gas airflow
Balance
±50V @ 6” & 12” (15.2 & 30.5 cm) directly under the emitter points
Ion Emissions
Steady-state DC Technology
Cleanroom Class
ISO 14644-1 Class 1 when powered with 24 VDC ISO Class 2 when powered with 24 VAC with 33-1421-01 transformer or Model 4030 Controller
Coverage
12” x 12”
Dimension
1.3”H x 1.3”W x 4.5”L (3.3 x 3.3 x 11.4 cm) air connection elbow on the side, width 1.92” (4.88 cm) air connection elbow on the end, ionizer body length 3.9” (10 cm)
Weight
0.24 lb (0.11 kg)
Tải xuống tài liệu
Bộ khử tĩnh điện QuadBar™ 4630
Bộ khử tĩnh điện QuadBar™ 4630
Simco-Ion's QuadBar 4630 Ionizer là bộ corona ionizer đầu tiên cung cấp kiểm soát nạp tĩnh điện an toàn và hiệu quả trong không khí bên trong một buồng xử lý. Cấu hình quadropole độc đáo của nó đảm bảo ion hóa hiệu quả ở cự ly chỉ 3 inch (7.6 cm) từ sản phẩm. Chi tiết
Thiết bị ion hóa In-line fusION™
Loading ...
