CNS Technologies - Chuyên môn xuất nhập khẩu với Công nghệ
Mô tả sản phẩm
Bộ ion hóa kiểm soát tĩnh điện với thiết kế hộp khí hỗ trợ
Model QuadBar™ 4635 - Bộ khử tĩnh điện có khí hỗ trợ của Simco-Ion cung cấp kiểm soát tĩnh điện hiệu quả trong một thiết kế nhỏ gọn. Model 4635 cung cấp hai lựa chọn thiết kế hộp (cartridge) khí hỗ trợ. Mỗi lựa chọn sử dụng một hộp khí (air cartridge) đa kênh được đặt xung quanh các kim phát để tối ưu phân phối không khí với điện áp trường tối thiểu.
Bộ điều khiển Model 4030
Bộ điều khiển QuadBar Model 4030 của Simco-Ion là một giải pháp tiện lợi để cấp nguồn và giám sát lên đến 16 chiếc QuadBars và 2 thanh AeroBar Model 5685.
CÁC LĨNH VỰC SẢN XUẤT ĐƯỢC ỨNG DỤNG
- Xử lý bán dẫn Back-End
- Xử lý bán dẫn Front-End
ỨNG DỤNG MỤC TIÊU
Bộ kiểm soát tĩnh điện QuadBar Model 4635 được đặt ở phía trên và dưới của robot xử lý giúp tăng tốc độ khử tĩnh điện trên bề mặt wafer phía trước và phía sau mà không cần tới sự hỗ trợ của khí.
Tính năng và lợi ích
- Thiết kế hộp khí hỗ trợ
- Hai lựa chọn thiết kế cartridge cung cấp các khoảng thời gian làm sạch kéo dài (tiêu chuẩn với luồng không khí bọc) hoặc thời gian xả nhanh hơn (jet với ống tiết trung tâm)
- Thiết kế cartridge có thể xoay
- Cấu hình Quadropole với công nghệ IsoStat
- Kích thước nhỏ gọn
- Kim phát tinh thể Silicone
- Có cảnh báo đầu ra đến FMS hoặc bộ điều khiển công cụ quy trình
QuadBar™ 4635 | Bộ khử tĩnh điện có khí hỗ trợ
Thông số kỹ thuật
Input Voltage
24 VAC ±5% @ 0.10A, 50/60 Hz, 2.4W; 24 VDC ±5% @ 0.025A, 0.6W (typ)
Discharge
Standard Cartridge: <15 sec @ 12” (30.5 cm) directly under emitter points with 15 lpm (min) purging gas airflow
Jet Cartridge: <6 sec @ 12” (30.5 cm) directly under emitter points with 15 lpm (min) purging gas airflow
Balance
±50V @ 6” & 12” (15.2 & 30.5 cm) directly under the emitter points
Ion Emissions
Steady-state DC Technology
Cleanroom Class
ISO 14644-1 Class 1 when powered with 24 VDC ISO Class 2 when powered with 24 VAC with 33-1421-01 transformer or Model 4030 Controller
Coverage
12” x 12”
Dimension
1.3”H x 1.3”W x 4.5”L (3.3 x 3.3 x 11.4 cm) air connection elbow on the side, width 1.92” (4.88 cm) air connection elbow on the end, ionizer body length 3.9” (10 cm)
Weight
0.24 lb (0.11 kg)
Tải xuống tài liệu
Model 5225 Digital AeroBar kết hợp điều khiển bằng phần mềm
Model 5225 Digital AeroBar kết hợp điều khiển bằng phần mềm
AeroBar Model 5225 dễ dàng tích hợp với công cụ của bạn, sử dụng các quy trình đã biên dịch sẵn hoặc các mẫu mã nguồn mở. Việc tích hợp liền mạch với các giao diện công cụ mang lại giải pháp ion hóa tiết kiệm chi phí hơn, bên cạnh các lợi ích như giảm chi phí bảo trì và xử lý cảnh báo tốt hơn. Chi tiết
Máy kiểm tra hiệu suất ion Model 280A | Charge Plate Monitor
Máy kiểm tra hiệu suất ion Model 280A | Charge Plate Monitor
Model 280A của Simco-Ion tích hợp mạch điện tăng cường, giúp đo lường hiệu suất của máy ion AC tần số cao, cũng như máy ion DC có xung và máy ion DC ổn định một cách chính xác hơn. Mô hình 280A có thể được sử dụng như một máy đo CPM có cổng và có khả năng hoạt động lên đến 6 giờ với pin nội bộ trước khi cần sạc lại. Chi tiết
Hệ thống kiểm tra độ tĩnh điện Model 775 Periodic Verification System
Loading ...
